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電子無塵車間的溫濕度要求
來源：網絡 日期：2021-04-14 閱讀()
電子無塵車間的溫濕度主要根據工藝要求確定，但在滿足工藝要求的前提下，還應考慮人體的舒適度。伴隨著對空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝溫度和濕度要求越來越嚴格的趨勢。
電子無塵車間的詳細工藝對溫度的要求在后面還會列出，但從總體上看，由于加工精度越來越高，因此對溫度波動范圍的要求也越來越小。比如，在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，對作為掩膜材料的硅片和玻璃的熱膨脹系數的要求差別越來越小。直徑100um的硅片，溫度升高1度，就會引起0.24um的線性膨脹，所以有±0.1um的恒溫，同時要求濕度一般都要低，因為人出汗后，會對產品造成污染，尤其是怕鈉的半導體車間，這車間溫度不宜超過25度，濕度過高，問題就更嚴重了。當相對濕度超過55%時，冷卻管壁會結露，如果精密設備或線路發生故障，會引起各種事故。相對濕度50%時容易發生銹蝕。另外，濕度過高會使硅片表面粘著的水分子通過空氣中的水分子化學吸附在表面上，很難清除。高相對濕度下，粘附的去除是困難的，但是當相對濕度低于30%時，由于靜電力的作用，顆粒也容易吸附在表面上，同時大量的半導體器件容易被擊穿。硅晶片生產濕度范圍在35~45%之間。
